JBD 12英寸Micro LED晶圆量产升级,良率超98%

科技品牌 2026-05-19 erej8986

5月18日,据“JBD显耀显示”,MicroLED微显示技术企业上海显耀显示科技股份有限公司(简称:显耀股份)宣布,已成功完成从4英寸向12英寸晶圆重构量产体系的全面升级,晶圆重构良率超过98%。这不仅是技术参数的提升,更意味着MicroLED微显示产业在规模化制造能力上迈出了关键一步。

左:7片4英寸外延晶圆;右:12英寸硅基重构晶圆

当前良率与成本始终是制约MicroLED微显示规模化普及的核心命题。长期以来,MicroLED微显示的量产面临一个结构性的“尺寸失配”难题:先进硅基背板已全面进入12英寸时代,而MicroLED外延层长期停留在4英寸,导致12英寸背板的利用率理论上限仅为77%。

8英寸晶圆制造流程(硅基背板约56%未被利用)

若采用8英寸外延方案,则有约56%的硅基背板面积无法有效利用。硅基背板的单位面积成本远高于外延层,这种浪费直接推高了器件成本,成为规模化经济性的主要障碍。

JBD的选择是跳过8英寸架构,直接迈向12英寸。其核心技术路径是“裸片至载片至晶圆”的键合方案:先将小尺寸外延切割为裸片,通过预检测与分选筛除缺陷裸片,再将合格裸片重构至临时12英寸基板,实现外延的高一致性整合,最后与同为12英寸的硅基背板完成晶圆级键合。

JBD 12英寸晶圆重构制造流程

该方案的核心价值在于,将缺陷隔离在上游分选环节,避免单一坏片拖累整个晶圆的良率,从而大幅降低后段制造的不确定性。

目前,显耀股份已打通12英寸晶圆重构的技术瓶颈与工艺路径,中试线完成通线验证,晶圆重构良率突破98%,正加速向量产线同步导入。

JBD CEO李起鸣表示,12英寸晶圆重构方案打破了MicroLED微显示行业在大尺寸规模化制造中的关键瓶颈,实现了效率与成本的更优平衡。该方案将有望成为MicroLED微显示迈向大规模量产的核心路径。

来源:中华液晶
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